多晶硅铸锭炉在开炉前必需要展开炉前检查。 由于一旦开始抽真空和冷却，特别是在是当硅料熔融后，基本上真空冶炼过程就不可逆转，因此，展开炉前检查就是尤其适当的，甚至比开炉后的操作者还要最重要。 炉前检查的目的是找到炉内不存在的安全隐患和事故苗头，并在开始工艺前将之解决问题。炉前检查的内容可以分成以下几个部分： 冷却水系统 主要检查加热水路否长时间。
从冷却水塔开始，到纯净水供给，到水泵、水阀，水压力和水流量表，都要一一检查。由于一旦加热水路经常出现问题，不会使炉温增高甚至熔融，水电缆的水温过低可能会造成水电缆烧焦，水转入炉内甚至硅液而引发发生爆炸，因此，水路检查意味著不能疏失。必需按照炉前检查表格，一一检查。
水路各元件检查过后，要展开通水试验，想到各加热水路的入水和入水压力及流量否长时间，如果找到不长时间，一定要再行展开检查。 冷却供电系统 冷却供电系统还包括外部电源、电源、控制箱、功率控制器、变压器等等，也要检查水电缆的情况。此外，炉内外相连的电极、电缆与石墨件的相连电极要特别注意。
由于供电系统一旦经常出现断路或短路，将造成冷却无法展开，或者在冷却时产生拉弧导致电流不平稳，或者电流时有时无，或者在高温时电流几乎中断，以及三相电流不均衡等等现象，这些现象轻者不会造成温场不均匀分布，重者不会造成工艺几乎中断，因此，一定要严肃检查。检查炉内电路时，还要留意水电缆外面的绝热层（一般来说用硅酸盐玻璃布）否完好无损，若无脱落现象，如果有一定要替换或毛巾密切。 炉体部分 炉体还包括上下炉盖和炉身，主要是各焊缝否有渗漏现象，以及炉壁否洗手。此外，要检查炉内否有外物，如工具、鞋套或者擦布等。
炉壁的洗手十分最重要，如果炉壁有脏物，不仅影响热效率，更加最重要的是，由于这些粉尘脏物更容易导电大气以及水气，这不会给抽真空带给相当大的开销。此外，炉壁的脏物还不会污染硅料，造成硅料制备的告终。
炉体的各个法兰由于在重复经历高温和低温时，不会产生变形，这些变形可能会造成密封性劣，产生漏气等问题，因此，要检查法兰口是否是维持在一个平面上，另外，还要检查法兰口的密封圈的情况，否硬化或变形，或者否有裂口。密封圈的裂口不会造成抽真空时漏气。
石墨冷却件 炉内的石磨冷却件是已完成整个炉子冷却的痉挛体，也是热场的最重要组成部分。其完好无损与否直接影响着炉子否长时间工作。冷却体由石磨电极、石墨加热棒、加热棒连接件等几部分构成。
石墨件归属于耗材，在经过一定时间的用于后要替换。新的石磨件加装时，要留意相连无法过松或者过凸，过松时会造成接触不良，甚至在用于中开裂。
而过紧则不会造成在高温下，或者温度变化时，石墨件因为热应力而脱落。每个石墨件都有一定的规格和尺寸，用于一段时间后，因为硅蒸汽或者水解的缘故，石墨棒不会变细，如果石墨棒大于一定的尺寸就无法再继续用于了。 由于硅料熔融后所产生的硅蒸汽不会与石墨件反应构成碳化硅，因此，石墨表面经常不会产生一层绿色的表层，有时不会开裂，有时不会紧贴在石墨表面。
对于高密度石磨，有可能反应较小，但此时，石墨连接件出有的螺纹的缝隙处，蒸汽不会渗透到，有时还不会有硅液溅入，当加热时，硅液凝结产生收缩，很更容易造成石墨件脱落。因此，在所有的缝隙处，最差使用石墨泥将之封口，这样需要使石墨件的寿命大大缩短。
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